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RF-8000亚纳米级光栅传感模块

RF-8000亚纳米级光栅传感细分模块

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IDS_B03高速干涉仪数采模块

高速数采模块，搭配IDS3010激光干涉仪，实现多通道、0.001纳米分辨率、100KHz位置刷新率闭环带宽（全球独供）

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SEC610 驱控一体

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SEMI-EA协议软件

锐云威科技的SEMI-EA软件，是一套符合SEMI的标准的自动化软件包，应用于用于半导体、光伏、TFT-LCD和电子行业。
SEMI-EA软件，为设备商、工厂自动化提供了一套完备的方案，设备端可以快速集成SEMI所要求的自动化功能，产线端可快速实施EAP、MES等信息化系统。
同时，锐云威科技提供针对产线端的EAP解决方案，通过API、MQTT、C/S或B/S方式与MES进行交互。

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PPC单板计算机板卡

E-PPC单板计算机板卡，是一款高性能控制板卡。基于标准 6U VME架构，采用1颗 NXP QorIQ P2020处理器,最高可达 1.2GHz。

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MC运动控制板卡

E-MC工业主控制板卡，是一款高性能控制板卡。基于标准6U VME架构，采用高性能多核DSP、ZYNQ作为主处理器，支持P2bus总线与激光干涉仪轴卡通信。E-MC板适用于大规模实时信号处理、多核并行处理，已在纳米级运动控制（步进扫描光刻）中应用，可广泛用于投影式步进扫描光刻、电子束光刻、电子束检测、纳米压印等场合。

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SEC600运动控制器

SEC600运动控制器，采用 ARM+FPGA的 ZYNQ芯片作为主控，是一款高性能的信号处理板卡。提供丰富的位移传感器信号采集、模拟量采集与输出、数字量输入输出、高速通信功能。该板卡可选配半实物仿真功能，结合 MATLAB/Simulink等软件工具，实现快速控制原型 RCP。板卡已应用于半导体装备的运动控制、磁浮/音圈主动减振系统中。

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双频激光干涉仪信号处理板

双频激光干涉仪，基于双频外差干涉技术，采用传统的空间光传输，分辨率高达0.077nm，它具有优越的测量性能以及实时闭环反馈功能，主要应用于半导体装备、长度计量等亚纳米及纳米精密测量领域。

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