半导体精密运动

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       在半导体装备、光学检测与精密测量等领域，有诸多类似于光刻机工件台的高速高精度多轴运动控制，运动精度不仅取决于结构方面的设计、加工制造以及安装精度，还受限于运动控制系统对多轴协同控制性能，以实现精密的轨迹运动。

       随着控制技术的发展，多轴运动控制系统已经发展为基于各类高速总线的网络化运动控制系统，如VME、VPX、CPCI等高速总线应用。

       针对多轴高精准同步控制，根据控制对象的复杂程度设计相应的控制系统架构，除对控制系统的软硬件可靠性、可扩展性具有严格的要求外，多轴运动控制系统还应具备两个重要的特征：实时性和同步性。