SEC720A 控制系统开发平台

系统概述

SEC-720A控制系统开发平台，是一款高性能的控制计算系统。系统提供丰富的位移传感器信号采集、激光干涉仪数据采集、模拟量采集与输出、数字量输入输出、高速通信、控制运算功能。

本系统已在纳米级运动控制系统（步进光刻、电子束检测）中应用，可广泛用于投影式步进扫描光刻、电子束光刻、电子束检测、纳米压印等场合。

系统组成

SEC-720A系统采用标准6U VMEbus，由“E-MC工业主控制板”、“ELAB0410激光干涉仪处理板”、“E-PSC功控传感板”、后IO板以及VME机箱组成。组成配置见下表所示。

系统组成配置

技术指标

1）激光干涉仪数据采集

机箱插接3块VME激光干涉仪处理板（兼容Keysight N1225A），可实现12轴干涉仪测量，分辨率0.15nm。

2）模拟输入输出

（1）输入：支持16×3个通道的ADC模拟量采样；

（2）输出：支持12×3个通道的DAC模拟量输出。

3）数字输入输出

（1）隔离数字IO输入输出：支持12×3路隔离IO输入和输出，支持最大速率1M；支持4×3路隔离IO输入和输出，支持最大速率10M；

（2）非隔离IO：支持8×3路TTL数字IO输入，8×3路LVTTL数字IO输出。

4）接口

（1）通讯接口：

EtherCAT从站（E-PSC板卡）；

多路RS485，速率可配；

光通讯口，6通道速率5Gbps；

（2）调试接口：RS422，支持115.2Kbps；

（3）光栅尺接口：

12路BissC，最高支持速率16M，可选配Endat；

12路ABZ，最高支持速率30M。