纳米级多轴闭环方案

纳米级多轴闭环方案
1、高速数采模块，搭配IDS3010激光干涉仪，实现 多通道、0.001纳米分辨率、100KHz位置刷新率 闭环带宽（全球独供）；
2、超精密光栅传感细分模块，搭配高精度光栅尺，实现 多轴、0.065纳米分辨率、500KHz伺服 闭环带宽，性能优于海德汉等国外友商同类细分读头产品。