高负载闭环压电执行器
产品特点
- 行程可达25微米
- 毫秒级的响应速度
- 采用直驱方式，系统体积小、刚性高、带宽大
- 内置电容传感器闭环
- 可用于光刻镜头调节、精密定位、质量流量控制，以及主动和自适应系统。
主要参数
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参数名称 |
参数值 |
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行程 |
25μm |
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分辨率（开环） |
2.5nm |
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分辨率（闭环） |
3nm |
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推力 |
200N |
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集成传感器 |
电容 |
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重复定位精度 |
20nm |
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谐振频率 |
640Hz |
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线长 |
3m |
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质量 |
290g |
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材料 |
不锈钢，钛合金 |
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接口 |
LEMO FFG.0B.303；BNC |
