双频激光干涉仪信号处理板

系统简介

双频激光干涉仪，基于双频外差干涉技术，采用传统的空间光传输，分辨率高达0.077nm，它具有优越的测量性能以及实时闭环反馈功能，主要应用于半导体装备、长度计量等亚纳米及纳米精密测量领域。

激光干涉仪信号处理卡

激光干涉仪信号处理卡从干涉信号中解调出相位信息，通过高速数据端口输出位移数据。激光信号处理器时针对运动测量和控制进行专门设计的，具有高分辨率、高速度、低噪声和数据延时短、实时闭环反馈等优点，并且可以支持多轴测量。

温压湿采集模块

温度采集模块包括四通道和八通道两个系列，由高精度采集卡、温度、压力和湿度探头组成，可实现多点环境参数采集，用于对干涉仪的光波长进行实时补偿，以提高干涉仪系统测量精度。

注：激光干涉仪信号处理卡、温压湿采集模块，为代理拍频光电产品。

       锐云威科技提供可集成干涉仪模块的 VME控制系统、干涉仪数据采集软件与开发环境。