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MC运动控制板卡

产品概述

E-MC工业主控制板卡,是一款高性能控制板卡。基于标准6U VME架构,采用高性能多核DSP、ZYNQ作为主处理器,支持P2bus总线与激光干涉仪轴卡通信。E-MC板适用于大规模实时信号处理、多核并行处理,已在纳米级运动控制(步进扫描光刻)中应用,可广泛用于投影式步进扫描光刻、电子束光刻、电子束检测、纳米压印等场合。

 

功能特征

板卡硬件架构如下图所示。

功能特点:

(1)从控制架构上,MC板卡可实现激光干涉仪轴卡的同步时钟、参数配置、通信功能,省去了传统的 PPC板卡和 SBC同步板卡。

(2)通过 VME背板与 Kesight N1225A等激光干涉仪轴卡通信。

(3)控制周期 100us,轴卡的数据刷新率实测可达 40KHz。

(4)可搭配“E-PSC功控传感板卡”、“E-MSB多通道传感器板卡”或“SEC600运动控制器”,实现增量式与绝对式位移传感器信号采集、模拟量采集与输出、数字量输入输出等功能。