SEMI-EA协议软件

产品简介

锐云威科技的SEMI-EA软件，是一套符合SEMI的标准的自动化软件包，应用于用于半导体、光伏、TFT-LCD和电子行业。

SEMI-EA软件，为设备商、工厂自动化提供了一套完备的方案，设备端可以快速集成SEMI所要求的自动化功能，产线端可快速实施EAP、MES等信息化系统。

同时，锐云威科技提供针对产线端的EAP解决方案，通过API、MQTT、C/S或B/S方式与MES进行交互。

产品特点

本产品的功能完全符合SEMI标准，包含GEM200和GEM300功能。

1.支持E4、E5、E30、E37、E39、E40、E84、E87、E90、E94、E95、E116、E142、E157等SEMI标准。

2.软件可支持EDA功能，具有快速的采集速率。

3.功能项可通过界面显示和调试，可模拟运行SECS/GEM相关制造指令。

4.可实现机台无人化控制，包含E84与远程操作机台。

5.支持上下料和加工模拟仿真。

6.提供Demo演示程序，界面功能可通过提供的API实现。

功能特征

SEMI-EA软件功能丰富，所具备的功能项如下图所示。

SEMI-EA软件的主要功能详述：

1. 数据上报功能，通过事件主动上报数据，可由EAP下发Trace指令动态采集。
2. 可配置常量数据、状态数据、报告数据报警、事件和命令等。
3. SECS通信，符合E5、E30、E37和E39等功能，能够实现断网续传功能，保证数据的完整性，时间同步，终端消息发送等。
4. Recipe的创建、上传、下载支持多种格式。
5. WaferMap、StripMap的上传和下载。
6. ControlJob和ProcessJob创建和控制，符合E40、E94相关标准，能够远程创建Job以及跟踪和报告job的执行状态。
7. Carrier自动上料功能，符合E87标准，能对接E84实现天车、AGV的导入。
8. 基片管理功能，符合E90标准，能够跟踪基片的位置和执行状态。
9. 设备状态跟踪，跟踪设备的繁忙和空闲状态符合E116标准。
10. 模块状态跟踪功能，跟踪模块的执行情况。
11. 详细的操作日志和异常报警日志等功能。
12. 历史记录功能，能够记录job和基片的执行状态和执行时间。
13. 支持EDA功能。