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压电陶瓷电机与微动台系列
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微行程 - 压电直驱模组
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RM31型开环预应力致动器
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RM31型开环预应力致动器
产品概述
压电直驱驱动器内部由多层压电陶瓷层(通过机械方式串联,以交错电极(电极间相互平行)的方式组成的
压电芯片
提供位移。
技术指标
驱动电压
V
-20V-150V
往复位移(40 KHz)
μm
>0.2
推力
N
>960
驱动频率
KHz
>40
电容值
nF
170±15%
工作温度
℃
-25 ~ 130
外形尺寸
mm
A: ꝋ15.0 ± 0.1 mm
B: M14×1.5、深8(可定制)
C: 3.0 ± 0.1 mm
D:M3、深4(可定制)
L:25 ± 0.5 mm
线长
m
1.5± 0.1(默认)
航空插头规格
LEMO FFA.00.250
主要特点
交流寿命10
9
次
驱动电压-20~+150V
微秒级响应
适用于高真空环境10-Pa
亚纳米分辨率
高居里温度230°C
产品应用
光路调节
光学移相
纳米运动控制
光学检测
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