产品中心

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压电闭环直驱模组

产品特点

  • 行程200μm以上
  • 高刚度，快速响应
  • 内置闭环传感器
  • 扁平阵列化应用，用于反射镜、钙钛矿涂布等大面型精密调平应用

 

主要参数

型号 RM52.11 单位
行程@400N 200 μm
集成传感器 LVDT 　
开环分辨率 20 nm
闭环分辨率 100 nm
重复定位精度 0.3 μm
推力 400 N
谐振频率 12 kHz