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二维偏转台/快反镜

产品特点

  • 二维角度调节
  • 快速响应
  • 可集成闭环传感器

 

主要参数

 

运动轴 θx θy 单位
开环行程 3 3 mrad
闭环行程 2.7 2.7 mrad
开环分辨率 0.02 0.02 μrad
闭环分辨率 0.05 0.05 μrad
空载谐振频率 11.5 11.5 kHz