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RM32型预应力致动器

产品概述

RM32 压电促动器是以压电陶瓷为基础元件,通过外部机械结构进行封装,并输出位移及出力。压电促动器具有预紧力,因此可承受一定的拉力。
RM32系列低压柱形压电促动器为-20~150V驱动电压、采用圆柱形壳体封装,内置方形压电陶瓷,顶部为位移和
出力输出端,底部具有安装固定螺纹孔。

 

技术指标

 

型号 标称行程
[um]±10%
刚度
[N/um]+20%
推力[N] 静电容量
[μF]±20%
开环分辨率[nm] 闭环分辨率[nm] 谐振频率
[kHz]+20%
线长
[m]+0.02
150/7/18 18 225 1920 3 0.18 0.36 22 1.5
150/7/36 36 107 1920 6 0.36 0.72 17.5 1.5
150/7/54 54 75 1920 9 0.54 1.08 15 1.5
150/7/72 72 57 1920 12 0.72 1.44 13 1.5
150/7/90 90 44 1920 15 0.9 1.8 11 1.5
150/7/108 108 38 1920 18 1.08 2.16 10 1.5
航空插头 TFA.00S.250.CTAC22
工作温度: -25~130℃
迟滞现象: <15%

 

 

产品特点

  • 交流寿命109
  • 驱动电压-20~+150V
  • 微秒级响应
  • 适用于高真空环境10-Pa
  • 亚纳米分辨率

 

产品应用

  • 光路调节
  • 静态和动态精密定位
  • 纳米运动控制
  • 光学检测
  • 计量,干涉