产品中心
PRODUCT CENTER
压电ZTT三轴运动台
产品特点
- 二维角度调节
- Z向升降
- 可集成闭环传感器
主要参数
| 运动轴 | Z | 单位 |
| Z轴行程 | 700 | μm |
| θx轴行程 | 40 | mrad |
| θy轴行程 | 40 | mrad |
| 空载谐振频率 | 300 | Hz |
| 承载能力 | 150 | N |
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主要参数
| 运动轴 | Z | 单位 |
| Z轴行程 | 700 | μm |
| θx轴行程 | 40 | mrad |
| θy轴行程 | 40 | mrad |
| 空载谐振频率 | 300 | Hz |
| 承载能力 | 150 | N |
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