产品中心

PRODUCT CENTER

压电ZTT三轴运动台

产品特点 

  • 二维角度调节
  • Z向升降
  • 可集成闭环传感器

 

主要参数

运动轴 Z 单位
Z轴行程 700 μm
θx轴行程 40 mrad
θy轴行程 40 mrad
空载谐振频率 300 Hz
承载能力 150 N