RM41.01尺蠖电机模组
产品特点
- 仿生尺蠖运动核心
- 纳米级步进精度
- 真空兼容
- 无磁性
- 断电位置保持
- 高刚性结构
- 可制备大推力步进电机
- 高度定制化（位移/尺寸/电压自由组合）
- 可选自研驱动器
主要参数
| 性能 | 技术参数 |
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单足截面尺寸 |
10mm * 7.8mm |
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厚度单步位移 |
3μm@500Vp-p |
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切向单步位移 |
4μm@500Vp-p |
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驱动力 |
≥200N |
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驱动电压 |
-250~250V |
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工作温度 |
-25~130℃ |
应用领域
- 半导体制造/量检测设备
- 真空探针测试
- 光纤量子通信
- 同步辐射光源
- 生命科学仪器
